[发明专利]用于制备碳纳米管膜的方法无效
| 申请号： | 201280031027.6 | 申请日： | 2012-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN103635422A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 郑多情;方闰荣;金承烈 | 申请（专利权）人： | 拓普纳诺斯株式会社 |
| 主分类号： | C01B31/02 | 分类号： | C01B31/02;H01B1/04;B82B3/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;张英 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 发明提供了一种可湿法刻蚀的碳纳米管膜的制备方法。根据本发明，用于制备碳纳米管膜的方法包括以下步骤：在基板上形成包含可湿法刻蚀材料的基底粘合剂层，在基底粘合剂层的上表面上形成包含碳纳米管的CNT涂层，在CNT涂层的上表面上形成包含可湿法刻蚀材料的顶部粘合剂层，以及通过湿法刻蚀去除CNT涂层、顶部粘合剂层和基底粘合剂层的待被刻蚀区域。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制备 纳米 方法 | ||
【主权项】：
一种制备碳纳米管膜的方法，包括：在基板上形成包含可湿法刻蚀材料的基底粘合剂层；在所述基底粘合剂层上形成包含碳纳米管的CNT涂层；在所述CNT涂层上形成含有可湿法刻蚀材料的顶部粘合剂层；通过湿法刻蚀去除所述CNT涂层、所述顶部粘合剂层和所述基底粘合剂层的刻蚀目标区。
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