[发明专利]提供具有和化学蚀刻有关的高硬度和低惯性的镜子的系统和方法有效
| 申请号： | 201280031879.5 | 申请日： | 2012-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN103842887A | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | D·C·布朗 | 申请（专利权）人： | 剑桥技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 李玲 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 披露了一种制造用在受限旋转电机系统中的镜子的方法，所述方法包括下述步骤：提供包括至少一个壁部分的镜子结构；以及将至少一个壁部分暴露在液体蚀刻剂中，从而对镜子结构进行化学铣削。 | ||
| 搜索关键词： | 提供 具有 化学 蚀刻 有关 硬度 惯性 镜子 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种制造用在受限旋转电机系统中的镜子的方法，所述方法包括下述步骤：提供包括至少一个壁部分的镜子结构；以及将所述至少一个壁部分暴露在液体蚀刻剂中，从而对所述镜子结构进行化学铣削。
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