[发明专利]阻抗匹配装置，线性运动模块以及射频电源装置有效
| 申请号： | 201280032132.1 | 申请日： | 2012-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN103636123A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 李元吾 | 申请（专利权）人： | 株式会社普来马特 |
| 主分类号： | H03H7/38 | 分类号： | H03H7/38;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 褚海英;陈桂香 |
| 地址： | 韩国大*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 种阻抗匹配装置，其包括：第一可变电容器，其连接至RF电源且包括可线性运动的第一轴；第一线性运动单元，其轴向地耦接至第一可变电容器的第一轴以提供线性运动；第一绝缘接头，其将第一轴连接至第一线性运动单元的第一驱动轴；以及第一位移传感器，其用于测量第一线性运动单元的第一驱动轴的移动距离。 | ||
| 搜索关键词： | 阻抗匹配 装置 线性 运动 模块 以及 射频 电源 | ||
【主权项】：
一种阻抗匹配装置，其包括：第一可变电容器，其连接至RF电源并包括可线性移动的第一轴；第一线性运动单元，其轴向地耦接至所述第一可变电容器的所述第一轴，以提供线性运动；第一绝缘接头，其用于将所述第一轴连接至所述第一线性运动单元的第一驱动轴；以及第一位移传感器，其用于测量所述第一线性运动单元的所述第一驱动轴的移动距离。
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