[发明专利]用于洁净室材料传输系统的水平位移机构有效
申请号: | 201280032280.3 | 申请日: | 2012-04-27 |
公开(公告)号: | CN103765570A | 公开(公告)日: | 2014-04-30 |
发明(设计)人: | A.C.伯诺拉 | 申请(专利权)人: | 布鲁克斯自动化公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;F16H53/00;B65G49/07;B25J18/02;B25J9/06 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 吴艳 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一种螺旋凸轮具有由内部腔和包括凸轮轮廓的外部表面所形成的管状部。线性滑动组件具有沿着旋转轴所定义的长度,限定成纵向滑动进入该螺旋凸轮的该内部腔。该线性滑动组件允许该螺旋凸轮沿着该旋转轴移动,且防止该螺旋凸轮相对于该线性滑动组件的旋转。凸轮辊子固定于邻近该螺旋凸轮的该外部表面的位置。该凸轮辊子配置成与该线性滑动组件分离,且在该螺旋凸轮的该凸轮轮廓内。该凸轮辊子接合该凸轮轮廓,以在该线性滑动组件和该螺旋凸轮相对于该凸轮辊子绕着该旋转轴一起旋转时,沿着该旋转轴移动该螺旋凸轮。 | ||
搜索关键词: | 用于 洁净室 材料 传输 系统 水平 位移 机构 | ||
【主权项】:
一种螺旋凸轮装置,包括:螺旋凸轮,具有由内部腔及外部表面所限定成的管状部,其中所述外部表面包括凸轮轮廓;线性滑动组件,具有沿着旋转轴定义的长度,所述线性滑动组件限定成纵向地滑动进入所述螺旋凸轮的所述内部腔,所述线性滑动组件限定成允许所述螺旋凸轮沿着所述旋转轴移动,且防止所述螺旋凸轮相对于所述线性滑动组件的旋转;及凸轮辊子,固定于邻近所述螺旋凸轮的所述外部表面的位置,所述凸轮辊子配置成与所述线性滑动组件分离,其中所述凸轮辊子位于所述螺旋凸轮的所述凸轮轮廓内,所述凸轮辊子限定成接合所述凸轮轮廓,以在所述线性滑动组件和所述螺旋凸轮相对于所述凸轮辊子一起绕着所述旋转轴旋转时,造成所述螺旋凸轮沿着所述旋转轴移动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造