[发明专利]气体转化系统有效

专利信息
申请号: 201280032608.1 申请日: 2012-06-21
公开(公告)号: CN103648635A 公开(公告)日: 2014-03-19
发明(设计)人: 谷端透;具宰模;李相勋 申请(专利权)人: 雷卡邦股份有限公司
主分类号: B01J19/12 分类号: B01J19/12;B01J7/00;C01B31/20
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 吴俊
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明提供一种利用微波等离子体的气体转化系统(1)。所述系统(1)包括:用于在其中输送微波的微波导波管(24);穿过该微波导波管(24)并配置为在其中输送微波的气流管(26);用于控制微波导波管(24)的温度的第一温控装置(241);布置在气流管(26)附近并配置为测量气流管(26)或微波导波管(24)的温度的温度传感器(29);位于气流管(26)附近并配置为在系统运转过程中引燃气流管(26)中的等离子体从而使等离子体转化流过气流管(26)的气体的引燃器(28);以及,位于气流管(26)附近并配置为监测等离子体的等离子体检测器(30)。
搜索关键词: 气体 转化 系统
【主权项】:
一种利用微波等离子体的气体转化系统,包括:微波导波管,用于在其中传送微波;气流管,穿过微波导波管,并配置为输送微波穿过该气流管;第一温控装置,用于控制微波导波管的温度;温度传感器,布置在气流管附近,并配置为测量微波导波管的温度;引燃器,位于气流管附近,并配置为在系统工作过程中点燃气流管内的等离子体使得等离子体转化流过气流管的气体;以及等离子体检测器,位于气流管附近,并配置为监测等离子体。
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