[发明专利]等离子体发生装置以及使用了该等离子体发生装置的清洗净化装置

摘要

清洗净化装置(40)检测在使用等离子体发生装置(1)时所产生的非正常事件，基于其检测结果来控制等离子体放电。

主权项

一种清洗净化装置，使用了等离子体发生装置，该等离子体发生装置具备：液体容纳部，其容纳至少含水的液体；气体容纳部，其容纳气体；隔离壁部，其将上述液体容纳部与上述气体容纳部隔开，形成有允许上述气体容纳部中的上述气体的流通而将上述气体引导到上述液体容纳部的气体通路；第一电极，其被配置于上述气体容纳部；第二电极，其被配置成与上述第一电极隔开距离，且至少与上述第一电极成对一侧的部分与上述液体容纳部中的上述液体相接触；气体供给部，其以经由上述气体通路向上述液体容纳部加压输送上述气体容纳部的上述气体的方式，来向上述气体容纳部供给至少含氧的气体；以及等离子体电源部，其在上述第一电极与上述第二电极之间供给规定的电压来使上述第一电极与上述第二电极之间产生放电，由此在上述液体容纳部中的上述液体内将导入到上述气体容纳部的上述气体等离子体化，该清洗净化装置的特征在于，检测在使用上述等离子体发生装置时所产生的非正常事件，基于其检测结果来控制等离子体放电。