[发明专利]光转换用陶瓷复合体的制造方法有效
| 申请号： | 201280033953.7 | 申请日： | 2012-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN103732354A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 稻森太;河野孝史 | 申请（专利权）人： | 宇部兴产株式会社 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B37/00;C04B35/653;C09K11/00;C09K11/80;H01L33/50 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种尽管是具有Al2O3相与Al2O3相以外的氧化物结晶相连续且三维地相互交杂的组织的凝固体，还是可有效地将其表面平坦化的光转换用陶瓷复合体的制造方法。本发明公开的一种光转换用陶瓷复合体的制造方法，具备下述步骤：步骤1：对具有Al2O3相与Al2O3相以外的氧化物结晶相连续且三维地相互交杂的组织的凝固体的表面进行干式刻蚀加工，由此形成相间阶差使该凝固体表面的该Al2O3相以外的氧化物结晶相相对于该Al2O3相呈凸起状；及步骤2：通过对该干式刻蚀加工后的凝固体进行CMP加工或MP加工，以使该相间阶差缩小。 | ||
| 搜索关键词： | 转换 陶瓷 复合体 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种光转换用陶瓷复合体的制造方法，具备下述步骤：步骤1：对具有Al2O3相与Al2O3相以外的氧化物结晶相连续且三维地相互交杂的组织的凝固体进行干式刻蚀加工，由此形成相间阶差使该凝固体表面的该Al2O3相以外的氧化物结晶相相对于该Al2O3相呈凸起状；及步骤2：通过对该干式刻蚀加工后的凝固体进行CMP加工或MP加工，以使该相间阶差缩小。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宇部兴产株式会社，未经宇部兴产株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201280033953.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种安全传输数据的方法及终端设备
- 下一篇：应用程序的控制方法及装置
