[发明专利]具有用于加压部的固定工具的流体压印装置有效
| 申请号： | 201280034361.7 | 申请日： | 2012-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN103826829A | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | 河口宏辅;田村裕宣;田中觉 | 申请（专利权）人： | SCIVAX股份有限公司 |
| 主分类号： | B29C59/02 | 分类号： | B29C59/02;G11B5/84;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 梁海莲;余明伟 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种即使转印面积扩大也能够使用小型的开闭机构的压印装置。本发明提供一种用于将模具的成型图案转印到被成型物的压印装置，为用于将模具（100）的成型图案转印到被成型物（200）的装置，并由以下部件构成：具有用于通过流体对模具（100）和被成型物（200）进行加压的加压室（51）的加压部（5），支撑受到加压部（5）的压力的模具（100）以及被成型物（200）的载物台（2），调节加压室（51）内的流体压力的加压机构（6），用于使加压部（5）和载物台（2）相对移动的开闭机构（8），以及固定加压部（5）和载物台（2）以防止或抑制产生于加压部（5）的力施加到开闭机构（8）的固定工具（1）。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 用于 加压 固定 工具 流体 压印 装置 | ||
【主权项】：
一种用于将模具的成型图案转印到被成型物的压印装置，其特征在于包括：加压部，其具有加压室，所述加压室用于通过流体对所述模具和所述被成型物进行加压；载物台，其用于支撑受到所述加压部的压力的所述模具以及所述被成型物；加压机构，其用于调节所述加压室内的流体的压力；开闭机构，其用于使所述加压部和所述载物台相对移动；以及固定工具，其用于固定所述加压部和所述载物台，以防止或者抑制由所述加压部所产生的力施加于所述开闭机构。
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