[发明专利]振动器以及振动陀螺仪有效
申请号: | 201280035321.4 | 申请日: | 2012-07-31 |
公开(公告)号: | CN103688136A | 公开(公告)日: | 2014-03-26 |
发明(设计)人: | 藤本克己;米田年麿;羽田拓生;堀内秀哉 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | G01C19/5621 | 分类号: | G01C19/5621;H01L41/08;H01L41/18 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 李逸雪 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 实现即便小型化也能有效地降低谐振频率振动器、和能使用该振动器以较高的灵敏度来检测角速度的振动陀螺仪。振动器(1)具备第1圆弧状梁部以及第2圆弧状梁部(2A、2B)、基端侧锤部(3)、和基端侧锤部用连结部(6A)。第1圆弧状梁部以及第2圆弧状梁部(2A、2B)的X轴正方向的端部在Y轴方向上相互隔开间隔地对置,X轴负方向的端部相互连结。基端侧锤部(3)配置在第1圆弧状梁部和第2圆弧状梁部(2A、2B)之间。基端侧锤部用连结部(6A)配置成从第1圆弧状梁部(2A)和第2圆弧状梁部(2B)的连结部分起在X轴正方向上延伸,且与基端侧锤部(3)连结。 | ||
搜索关键词: | 振动器 以及 振动 陀螺仪 | ||
【主权项】:
一种振动器,具备:第1圆弧状梁部以及第2圆弧状梁部,各自的第1轴方向的一侧的端部在相对于第1轴方向正交的第2轴方向上相互隔开间隔地对置,且各自的第1轴方向的另一侧的端部相互连结;基端侧锤部,其配置在所述第1圆弧状梁部与所述第2圆弧状梁部之间;和基端侧锤部用连结部,其设置成从所述第1圆弧状梁部与所述第2圆弧状梁部的连结部分起在第1轴方向上延伸,且与所述基端侧锤部连结。
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