[发明专利]具有双压电晶片致动和压阻读出的微悬臂梁式传感器有效
| 申请号： | 201280036201.6 | 申请日： | 2012-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN103827662A | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | 弗拉迪斯拉夫·贾科夫;理查德·邓恩 | 申请（专利权）人： | 麦克罗威斯克有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;C12Q1/00;G01N33/543;B82Y15/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 朱胜;陈炜 |
| 地址： | 英国登比*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 提供了使用热特征来监测流体介质样本中的一个或多个指定反应的方法，包括：提供至少一个微悬臂梁式传感器，所述微悬臂梁式传感器包括具有不同热膨胀系数的至少两种材料，并且具有集成在其中的加热器和压阻传感器；校准对热变化的至少一个微悬臂梁响应以形成校准微悬臂梁响应特性；开始流体介质样本中的指定反应；用一个或多个电脉冲对加热器施加脉冲以在微悬臂梁中引起发热；对集成的压阻传感器的输出进行采样以表征流体介质中的指定反应期间微悬臂梁的响应；以及从所采样的输出中减去校准微悬臂梁响应特性以确定流体介质样本中的一个或多个指定反应的特性。还提供了用于测量流体介质样本的至少一个热属性的方法以及流体介质样本反应检测设备。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 压电 晶片 读出 悬臂梁 传感器 | ||
【主权项】：
一种使用热特征和/或机械特征来监测流体介质样本中的一个或多个指定反应的方法，所述方法包括：提供至少一个校准的微悬臂梁式传感器，所述微悬臂梁式传感器包括具有不同热膨胀系数的至少两种材料，并且具有集成在所述微悬臂梁式传感器中的加热器和压阻传感器，所述至少一个校准的微悬臂梁式传感器针对热和/或机械变化被校准，以及所述至少一个微悬臂梁的自由端可操作用于浸入所述流体介质样本中；用一个或多个电脉冲对所述加热器施加脉冲以在所述微悬臂梁中引起发热；对所述集成的压阻传感器的输出进行采样以表征在所述流体介质中的指定反应期间所述微悬臂梁的响应；以及从所采样的输出中减去校准微悬臂梁响应特性以确定所述流体介质样本中的所述一个或多个指定反应的特性。
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