[发明专利]辐射源和用于光刻设备的方法和器件制造方法

摘要

用于通过LPP（激光产生等离子体）或DLP（双激光等离子体）从熔融的燃料液滴的束流产生EUV的辐射源具有布置成提供燃料(314)液滴的束流的燃料液滴产生装置和配置成汽化燃料的所述液滴中的至少一些以产生辐射的至少一个激光器。燃料液滴产生装置包括：喷嘴(301)、馈送室和贮液器(303)，其中泵送装置布置成将熔融状态下的燃料流从贮液器通过馈送室供给并作为液滴的束流排出喷嘴。馈送室具有与填充有液体的驱动腔(310)接触的外表面，并且液体布置成能够被驱动以由振动器(311)震荡，其中该震荡可以通过液体从馈送室的外表面传输至馈送室内的熔融燃料。该布置允许振荡驱动喷嘴馈送室以控制燃料束流破碎成液滴，而不需要振动器和燃料喷嘴馈送室之间的直接接触。这可以减少通过接触失效从振动器至馈送室的传输损失，并且可以允许在冷却位置远程定位振动器用于有效操作。

主权项

一种辐射源，包括：燃料液滴产生装置，布置成提供燃料液滴的束流，所述燃料液滴产生装置包括：喷嘴，馈送室，所述馈送室具有与驱动腔接触的外表面，其中当驱动腔填充有液体并且液体布置成能够被驱动以经受可操作地连接至驱动腔的振动器进行的震荡时，所述震荡能够被通过液体从馈送室的外表面传递至馈送室中的所述熔融燃料；贮液器，和泵，布置成将熔融状态下的燃料流从贮液器通过馈送室供给并作为液滴的束流排出喷嘴；和至少一个激光器，配置成汽化所述燃料液滴中的至少一些以产生辐射。