[发明专利]用于特征化对象并监视制造过程的方法与设备无效
| 申请号： | 201280037171.0 | 申请日： | 2012-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN103733020A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 强纳森·D·哈德曼;席亚朗·约翰·派崔克·欧康纳;杰·威尔金斯 | 申请（专利权）人： | 伊雷克托科学工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01N21/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种特征化对象的方法包括判定该对象内一量测点处该对象的深度向组成。与该量测点相邻之一区域内对象的特性可视情况基于该判定来估计。另一种特征化对象的方法包括将一对象的至少一部分安置于一计量工具的一量测区域内，将该对象的一特征与该量测区域内一指定量测点的位置相对于彼此对准，以及执行占据该量测点的该对象的一部分的组成分析。亦揭示了用于执行此等方法的各种设备，以及基于此等方法监测制造制程的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 特征 对象 监视 制造 过程 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种方法，其包括：判定在对象内的量测点处依据该对象内深度的该对象的组成；以及基于该判定，定量估计该对象与该量测点相邻的区域内该对象的至少一个特性。
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