[发明专利]标准具及标准具的制造方法

摘要

本发明的标准具(1)包括第一透光体(7A)，该第一透光体(7A)相对于温度上升的变化其光路长度的变化为正；第二透光体(7B)，该第二透光体(7B)相对于温度上升的变化其光路长度的变化为负；第一反射膜(5A)，该第一反射膜(5A)覆盖第一外侧面(51A)；第一防反射膜(9A)，该第一防反射膜(9A)覆盖第一内侧面(55A)；第二防反射膜(9B)，该第二防反射膜(9B)覆盖第二内侧面(55B)；以及第二反射膜(5B)，该第二反射膜(5B)覆盖第一外侧面(51A)。第一内侧面(55A)与第二内侧面(55B)隔着间隙(53)彼此相对。

主权项

一种标准具滤波器，该标准具滤波器具有以下特性：从一对反射膜中的一方射出的光的强度与射入所述一对反射膜中的另一方的光的强度的比、即透射系数按照由所述一对反射膜之间的光路长度所确定的FSR的间隔周期性上升，其特征在于，包括：第一透光体，该第一透光体具有构成入射面及出射面中的一个面的第一外侧面、及其背面的第一内侧面，且相对于温度上升的变化其光路长度的变化为正；第二透光体，该第二透光体具有构成入射面及出射面中的另一个面的第二外侧面、及其背面的第二内侧面，且相对于温度上升的变化其光路长度的变化为负；第一反射膜，该第一反射膜覆盖所述第一外侧面，该第一反射膜是所述一对反射膜中的一个；第一防反射膜，该第一防反射膜覆盖所述第一内侧面；第二反射膜，该第二反射膜覆盖所述第二外侧面，该第二反射膜是所述一对反射膜中的另一个；第二防反射膜，该第二防反射膜覆盖所述第二内侧面；与所述第一内侧面或所述第一防反射膜在其外边缘侧相接合的第一金属层；以及与所述第二内侧面或所述第二防反射膜在其外边缘侧相接合、且通过金属扩散而与所述第一金属层相接合的第二金属层，所述第一内侧面与所述第二内侧面隔着间隙彼此相对，所述第一反射膜和所述第二反射膜之间的光路长度仅由所述第一透光体、所述第一防反射膜、所述间隙、所述第二防反射膜以及所述第二透光体构成，所述第一金属层通过从所述第一防反射膜一侧开始层叠Cr和Au或层叠Ta和Au而构成，所述第二金属层通过从所述第二防反射膜一侧起层叠Cr和Au或者层叠Ta和Au而构成，所述第一金属层和所述第二金属层利用Au彼此的金属扩散而接合，所述间隙的厚度为亚微米级至微米级。