[发明专利]用于钡-钪酸盐扩散阴极的靶有效
| 申请号： | 201280038617.1 | 申请日： | 2012-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN103703162A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | G.F.加尔特纳;W.C.科尤尔 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34;H01J1/142 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李亚非;汪扬 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及钡-钪酸盐扩散阴极或其它钡-钪酸盐材料的制作的领域。氧化钪(钪氧化物)含量越高时，含有BaO、CaO、Al2O3和SC2O3的混合物的靶(66)趋于更稳定。然而，增加的氧化钪含量导致降低的发射能力。BaO和CaO反应的失稳效应被更为惰性的SC2O3以及另外的AI2O3成份抵消，因为不仅增加的氧化钪含量使该材料稳定，而且增加的氧化铝(铝氧化物)含量提高稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 钪酸盐 扩散 阴极 | ||
【主权项】：
一种在钡‑钪酸盐扩散阴极或其它钡‑钪酸盐材料的制作中使用的用于物理薄膜沉积的靶材料(66)，其中该靶材料(66)包括或由氧化钡BaO、氧化钙CaO、氧化铝Al2O3和氧化钪Sc2O3的混合物组成，其中BaO:CaO:Al2O3:Sc2O3的摩尔比例为b:c:x:y，其中2≤b≤5，1≤c≤3，2≤x+y≤b+c并且0.1≤y≤1。
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