[发明专利]热蒸镀装置无效
| 申请号： | 201280039699.1 | 申请日： | 2012-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN103748257A | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 金润泽;林朝燮 | 申请（专利权）人： | MMT有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 崔征 |
| 地址： | 韩国庆尚北道*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种热蒸镀装置，其取代现有钨丝（tungsten filament）或者钼舟（molybdenum boat），使用板状的金属加热器来降低蒸镀偏差率，更为具体地涉及利用板状的金属加热器和载体的热蒸镀装置，所述板状的金属加热器设置为平行于器材的空转轴，并且所述载体位于所述板状的金属加热器正面。使用本发明的热蒸镀装置，从而增大蒸镀物质的使用效率，并能够将蒸镀物质均匀且具有再现性地蒸镀于器材上。 | ||
| 搜索关键词： | 热蒸镀 装置 | ||
【主权项】：
一种热蒸镀装置，包括含有蒸镀物质的载体、对所述含有蒸镀物质的载体进行加热的加热器、形成为可在所述载体前面进行移动的用于器材搭载的治具，其特征在于：所述热蒸镀装置设置为所述载体与所述器材相正对的状态下进行热蒸镀。
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