[发明专利]包括反应室内的前体气体炉的沉积系统及相关方法

摘要

沉积系统包括反应室，设置在所述室内用于支撑所述反应室内的基材的基材支撑结构，和用于将一种或多种前体气体注入所述反应室的气体输入系统。所述气体输入系统包括至少部分地设置在所述反应室内的至少一个前体气体炉。沉积材料的方法包括使第一前体气体和第二前体气体分别地流入反应室，使所述第一前体气体流动通过至少一个前体气体流路，所述前体气体流路延伸通过设置在所述反应室内的至少一个前体气体炉，和在所述至少一个前体气体炉内加热所述第一前体气体后，将所述第一前体气体和所述第二前体气体在所述反应室内在基材上方混合。

主权项

一种沉积系统，其包括：至少基本上封闭的反应室，所述反应室通过顶壁、底壁和至少一个侧壁限定；基座，所述基座至少部分地设置在所述反应室内并且被构造成支撑所述反应室内的基材；和气体输入系统，所述气体输入系统用于将一种或多种前体气体注入所述反应室，所述气体输入系统包括设置在所述反应室内的至少一个前体气体炉、延伸通过所述至少一个前体气体炉的至少一个前体气体流路，其中延伸通过所述至少一个前体气体炉的所述至少一个前体气体流路包括具有迂回构造的至少一部分，且其中所述至少一个前体气体流路具有被构造成提供流动通过所述至少一个流路的一种或多种前体气体的层流的至少一部分。