[发明专利]用于对静电卡盘进行热水密封的系统和方法无效
| 申请号： | 201280041465.0 | 申请日： | 2012-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN103764879A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 石洪;黄拓川;大卫·谢弗;安巴理什·查哈特;约翰·多尔蒂;赖安·吴;克利夫·拉克鲁瓦 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | C25D5/16 | 分类号： | C25D5/16;C25D11/18;B23P6/00 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了用于处理双极ESC的方法，所述双极ESC具有前表面和后表面，所述前表面包括阳极化层。所述方法包括：除去阳极化层；将新的阳极化层布置在所述前表面上；以及用水来处理新的阳极化层以密封所述新的阳极化层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 静电 卡盘 进行 热水 密封 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种处理双极静电卡盘的方法，所述双极静电卡盘具有前表面和后表面，所述前表面具有阳极化层，所述方法包括：除去所述阳极化层；将新阳极化层布置在所述前表面上；以及用水来处理所述新阳极化层以密封所述新阳极化层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于朗姆研究公司，未经朗姆研究公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201280041465.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
