[发明专利]膜厚测定装置及膜厚测定方法有效
| 申请号： | 201280041489.6 | 申请日： | 2012-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN103765156A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 黑川政秋;安井润;见持圭一;盐谷成敏 | 申请（专利权）人： | 三菱重工业株式会社 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06;G01B11/24 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 雒运朴 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够对施加到被测定对象上的隔热涂层的膜厚高效率且准确地进行测定的膜厚测定装置及膜厚测定方法。膜厚测定装置(1)具备：对形成在涡轮叶片(11)上的隔热涂敷膜的膜厚进行测定的ECT传感器(4)；存储有对隔热涂敷膜的膜厚进行测定的地点即涡轮叶片(11)上的测定地点的存储机构(9)；对涡轮叶片(11)的形状进行测定的激光位移计(5)；根据由激光位移计(5)测定出的涡轮叶片(11)的形状及存储在存储机构(9)中的涡轮叶片(11)上的测定地点，来算出适合于ECT传感器(4)进行实际的膜厚测定的实际测定地点的测定位置算出机构(8)；根据由测定位置算出机构(8)算出的实际测定地点来驱动ECT传感器(4)，从而调整ECT传感器(4)的测定位置的臂驱动机构(6)。 | ||
| 搜索关键词： | 测定 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种膜厚测定装置，具备：膜厚测定机构，其对形成在被测定对象上的隔热涂敷膜的膜厚进行测定；存储机构，其存储对所述隔热涂敷膜的膜厚进行测定的地点即所述被测定对象上的测定地点；形状测定机构，其对所述被测定对象的形状进行测定；测定位置算出机构，其根据由所述测定机构测定出的所述被测定对象的形状及存储在所述存储机构中的所述被测定对象上的测定地点，来算出适合于所述膜厚测定机构进行实际的膜厚测定的实际测定地点；驱动机构，其根据由所述测定位置算出机构算出的所述实际测定地点，来驱动所述膜厚测定机构，从而调整所述膜厚测定机构的测定位置。
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