[发明专利]用于通过化学气相沉积方法制造材料的沉积盒无效
| 申请号： | 201280042301.X | 申请日： | 2012-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN103958732A | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 卡甘·塞兰 | 申请（专利权）人： | 太阳能技术绿色团体有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 苏娟;刘迎春 |
| 地址： | 维尔京群*** | 国省代码： | 维尔京群岛;VG |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种在通过化学气相沉积方法制造材料过程中使用的电加热沉积盒，其具有：（i）比籽棒对高的表面积与体积比；（ii）比籽棒对高的起始有效沉积表面积与最终有效沉积表面积比；以及（iii）比基础沉积板高的有效沉积表面积与总表面积比，这些通过在沉积盒的所有期望表面上达到并保持期望温度来实现，而这又通过在沉积盒的所有期望横截面积上通过期望量的电流分布来实现。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 通过 化学 沉积 方法 制造 材料 | ||
【主权项】：
一种在通过化学气相沉积方法制造材料过程中使用的电加热沉积盒，其具有：（i）比籽棒对高的表面积与体积比；（ii）比籽棒对高的起始有效沉积表面积与最终有效沉积表面积比；以及（iii）比基础沉积板高的有效沉积表面积与总表面积比，这些通过在沉积盒的所有期望表面上达到并保持期望温度来实现，而这又通过在沉积盒的所有期望横截面积上通过期望量的电流分布来实现。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于太阳能技术绿色团体有限公司，未经太阳能技术绿色团体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201280042301.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：粗粒土液压剪切仪
- 下一篇：一种聚焦离子束机台之探针的降震装置及其降震方法
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
