[发明专利]曝光装置、曝光方法、元件制造方法、程序及记录媒体

摘要

本发明的曝光装置是通过液体以曝光用光使基板曝光。曝光装置，具备：具有曝光用光射出的射出面的光学构件、包含将基板的下面以可释放的方式加以保持的第1保持部以及用以规定可配置基板的开口且具有在基板被保持于第1保持部保持的状态下配置在基板上面周围的上面的第1构件的基板保持装置、以及至少一部分配置在基板与第1构件间的间隙且具有对液体为拨液性的上面的多孔构件。曝光装置通过多孔构件回收流入间隙的液体的至少一部分。

主权项

一种曝光装置，其特征在于，通过液体以曝光用光使基板曝光，具备：光学构件，具有所述曝光用光射出的射出面；基板保持装置，包含将所述基板的下面以可释放的方式加以保持的第1保持部、以及用以规定可配置所述基板的开口、具有在所述基板被保持于所述第1保持部保持的状态下配置在所述基板的上面周围的上面的第1构件；以及多孔构件，至少一部分配置在所述基板与所述第1构件间的间隙、具有对所述液体为拨液性的上面；通过所述多孔构件回收流入所述间隙的所述液体的至少一部分。