[发明专利]MEMS装置锚固有效
| 申请号： | 201280042820.6 | 申请日： | 2012-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN103889887B | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 罗伯托·彼得勒斯·范－卡普恩;迈克·雷诺;维克拉姆·乔希;理查德·L·奈普;阿奈兹·乌纳穆诺 | 申请（专利权）人： | 卡文迪什动力有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;H01H59/00 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙)11413 | 代理人： | 王春伟,刘继富 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的实施例通常涉及一种使用进行沉积以形成空腔密封层的层和/或进行沉积以形成释放电极的层而被锚固的MEMS装置。MEMS装置的开关元件会具有柔性部分或可移动部分，还会具有电连接到接地的固定部分或锚固部分。用于密封其中设置有开关元件的空腔的层还可以连接到开关元件的固定部分或锚固部分，以在空腔内对固定部分或锚固部分进行锚固。另外，用于形成电极之一的层可以用于提供在空腔内对固定部分或锚固部分进行锚固的另外的杠杆。在任一情况下，都不妨碍柔性部分或可移动部分的移动。 | ||
| 搜索关键词： | mems 装置 锚固 | ||
【主权项】：
一种微电子机械装置，其包含：第一电极；第二电极；被设置在所述第二电极之上的介电顶部；穿过所述介电顶部形成的一个或更多个释放孔；在所述第一电极和所述第二电极之间可移动并设置在空腔内的开关元件；和密封层，其被设置在所述介电顶部上且在所述一个或更多个释放孔之内，所述密封层的至少一部分与所述开关元件的至少一部分接触。
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