[发明专利]多分析器角度的光谱椭圆偏光仪在审
| 申请号： | 201280042918.1 | 申请日： | 2012-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN104169709A | 公开（公告）日： | 2014-11-26 |
| 发明（设计）人： | 欣东·郭;沃德·狄克逊;利奥尼德·波斯拉夫斯基;托斯顿·卡克 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01J4/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭示具有改善稳定性的椭圆偏光仪系统及椭圆偏光仪数据收集方法。根据本发明，利用多个预定、离散分析器角度来收集用于单一测量的椭圆偏光仪数据，且基于在这些预定、离散分析器角度处收集到的所述椭圆偏光仪数据执行数据回归。针对单一测量利用多个离散分析器角度改善了椭圆偏光仪系统的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 分析器 角度 光谱 椭圆 偏光 | ||
【主权项】：
一种椭圆偏光仪系统，其包括：支撑机构，其经配置用以支撑晶片；照明源，其经配置以用于朝向所述晶片传递入射光束，其中所述入射光束反射离开所述晶片，借此形成反射光束；分析器，其经配置以用于使所述反射光束偏光，所述分析器具有可旋转到多个预定、离散角位置的偏光方向；检测器，其经配置以用于基于行进穿过所述分析器的所述反射光束收集一组光谱数据，当所述分析器的所述偏光方向指向所述组预定、离散角位置中的一者时收集所述组光谱数据中的每一光谱数据；及处理器模块，其经配置以用于对所收集到的所述组光谱数据执行同时回归。
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