[发明专利]用于裸工件储料器的容器存储附加装置在审

专利信息
申请号: 201280043130.2 申请日: 2012-09-04
公开(公告)号: CN103946967A 公开(公告)日: 2014-07-23
发明(设计)人: 卢茨·莱伯斯托克 申请(专利权)人: 动力微系统公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 赵伟
地址: 德国巴登*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明涉及一种用于存储和传输物品的设备和方法,更具体地涉及工件储料器结构,例如用于半导体晶片、刻线或载体盒的储料器。
搜索关键词: 用于 工件 料器 容器 存储 附加 装置
【主权项】:
一种用于工件储料器的缓冲存储附加装置,包括:存储腔室,包括多个工件存储隔间,存储隔间排列成x‑y阵列,隔间之间具有传输路径,其中存储隔间具有面对传输路径的至少一侧,其中传输路径大到足以适应工件的移动,其中传输路径连接以使能工件行进至任意存储隔间;x‑y机制,耦合至存储腔室;机器人臂,包括用于支撑工件的末端把手,机器人臂包括用于沿远离x‑y平面的z方向延伸末端把手的延伸机制,其中机器人臂延伸用于在工件储料器的站拾取或放置工件,其中机器人臂耦合至x‑y机制以沿传输路径将在末端把手处支撑的工件移动至存储隔间。
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