[发明专利]具有可侧向移动的绝热系统的定向固化炉无效
申请号: | 201280045037.5 | 申请日: | 2012-09-14 |
公开(公告)号: | CN103797163A | 公开(公告)日: | 2014-05-14 |
发明(设计)人: | L·W·弗里 | 申请(专利权)人: | MEMC新加坡私人有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 秘凤华;马江立 |
地址: | 新加坡*** | 国省代码: | 新加坡;SG |
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摘要: | 本发明公开了一种定向固化炉,所述炉包括设置在坩埚的底部部分下方的一个或多个可移动的绝热元件。在第一位置中,所述绝热元件限制热量从所述坩埚的底部部分流出。在第二位置中,所述绝热元件不限制热量从所述坩埚的底部部分流出。致动系统用于使绝热元件在所述第一位置和所述第二位置之间移动。 | ||
搜索关键词: | 具有 侧向 移动 绝热 系统 定向 固化 | ||
【主权项】:
一种用于生产多晶硅晶锭的定向固化炉,所述炉包括:用于容纳硅装载物的坩埚;布置在坩埚的底座下方的多个绝热元件,所述绝热元件能够沿侧向在第一位置和第二位置之间移动,在所述第一位置,所述绝热元件限制热量从所述坩埚的底座流出,在所述第二位置,所述绝热元件不限制热量从所述坩埚的底座流出;和致动系统,所述致动系统用于使所述绝热元件沿侧向在所述第一位置和所述第二位置之间移动。
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