[发明专利]工件的切割方法及线锯有效
| 申请号： | 201280045340.5 | 申请日： | 2012-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN103842129A | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 糸井征夫 | 申请（专利权）人： | 信越半导体株式会社 |
| 主分类号： | B24B27/06 | 分类号： | B24B27/06;B28D5/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健 |
| 地址： | 日本东京都千*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明是一种工件的切割方法，使卷绕于多个带槽滚筒的钢线在轴方向做往复行进，一边向上述钢线供给浆液一边将工件相对地下压，并压抵至做往复行进的上述钢线而切入进给，而将上述工件切割成晶片状，上述工件的切割方法其特征在于，包括：准备上述带槽滚筒的工序，上述带槽滚筒以上述带槽滚筒的多个槽的底部的位置与该带槽滚筒的旋转轴之间的距离从钢线供给侧朝向钢线回收侧逐渐变短的方式形成；以及切割上述工件的工序，以上述钢线供给侧的钢线比上述钢线回收侧的钢线更早地压抵至上述工件的方式切割上述工件。由此，能够抑制在利用线锯切割工件时尤其是在使槽间距较窄的钢线回收侧因工件的开始切割部位局部变薄而导致的TTV变差。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 切割 方法 | ||
【主权项】：
一种工件的切割方法，使卷绕于多个带槽滚筒的钢线在轴方向做往复行进，一边向上述钢线供给浆液一边将工件相对地下压，并压抵至做往复行进的上述钢线而切入进给，而将上述工件切割成晶片状，上述工件的切割方法其特征在于，包括：准备上述带槽滚筒的工序，上述带槽滚筒以上述带槽滚筒的多个槽的底部的位置与该带槽滚筒的旋转轴之间的距离从钢线供给侧朝向钢线回收侧逐渐变短的方式形成；以及切割上述工件的工序，以上述钢线供给侧的钢线比上述钢线回收侧的钢线更早地压抵至上述工件的方式切割上述工件。
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