[发明专利]带有应力补偿的涂层的针对红外线范围的光学结构元件

摘要

本发明涉及一种用于构造针对红外线范围的光学结构元件（1）的方法，在该方法中，确定光学结构元件（1）的期望的技术特性，模拟出光学结构元件（1）并且这个模拟的光学结构元件具有由上下堆叠的具有至少一个低折射层（L1至L6）和高折射层（H1至H10）的层构成的层序列，其中，低折射层的折射率处于1.35至1.7的范围内，高折射层的折射率处于3至5的范围内。紧接着以如下方式产生经修改的模拟的光学结构元件，即，将模拟的光学结构元件的至少一个低折射层（L1至L6）划分成至少两个部分层并且将中等折射层（M1至M14）补入其中至少两个部分层之间，其中，中等折射层（M1至M14）的折射率处于1.8至2.5的范围内并且其应力系数具有与每个低折射层（L1至L6）和每个高折射层（H1至H10）的应力系数相反的符号。经修改的模拟的光学结构元件的层厚度通过另外的模拟以如下方式进行调节，即，使得经修改的模拟的光学结构元件具有所期望的技术特性。本发明也涉及一种针对红外线范围的光学结构元件（1）。

主权项

一种用于构造针对红外线范围的光学结构元件（1）的方法，所述方法具有如下步骤：a）确定光学结构元件（1）的期望的技术特性，b）模拟具有所述期望的技术特性的光学结构元件，其中，模拟的光学结构元件具有带有至少一个低折射层（L1至L6）和高折射层（H1至H10）的上下堆叠的层的层序列（2），所述低折射层的折射率处于1.35至1.7的范围内，所述高折射层的折射率处于3至5的范围内，c）通过如下方式产生经修改的模拟的光学结构元件，即，将模拟的光学结构元件的至少一个低折射层（L1至L6）划分成至少两个部分层并将中等折射层（M1至M14）补入至少两个所述部分层之间，其中，中等折射层（M1至M14）的折射率处于1.8至2.5的范围内并且其应力系数具有与每个低折射层（L1至L6）和每个高折射层（H1至H10）的应力系数相反的符号，d）将所述经修改的模拟的光学结构元件的层厚度借助另外的模拟以如下方式进行调节，即，使得所述经修改的模拟的光学结构元件具有期望的技术特性，e）以如下方式提供所述另外的模拟的结果，即，把层序列的信息和层序列的层厚度的说明对使用者开放。