[发明专利]显微镜装置有效
| 申请号： | 201280047584.7 | 申请日： | 2012-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN103890633B | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | R.乌尔;M.施罗普 | 申请（专利权）人： | FEI公司;提尔埃蒂有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00;G01N21/63 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘金凤;徐红燕 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种显微镜具有物镜、在照明束路径上照亮样品的光源、在样品上产生在两个空间方向上结构化的扁平照明图案的安排、在一条图片束路径上对入射光进行检测的表面检测器、在样品上在一个位移方向上对照明图案进行移位的安排、以及控制单元，该控制单元在检测器检测到光时拍摄一张图片作为该图案沿着位移方向的不同位置处的相位图片并且用于从这些相位图片计算地对所照亮的样品区域的整体图片进行重建。位移方向向照明图案的主对称轴倾斜并且取决于该照明图案被选择成使得图片重建所需的相位图片的数量符合理论最小要求值。 | ||
| 搜索关键词： | 显微镜 装置 | ||
【主权项】：
一种显微镜装置，该显微镜装置带有物镜、用于在照明束路径上照亮样品的光源、用于在该样品上产生在两个空间方向上被结构化的扁平照明图案的装置、用于在一条图片束路径上对来自该样品的光进行检测的表面检测器、用于在一个位移方向上对该样品上的该照明图案进行移位的装置、以及控制单元，该控制单元被制作成用于在该检测器检测到光时拍摄一张图片作为该图案沿着该位移方向在不同位置处的相位图片并且用于从这些相位图片以计算方式对被照亮样品区域的整体图片进行重建，其特征在于，该位移方向向该照明图案的主对称轴倾斜并且取决于该照明图案被选择成使得该图片重建所需的相位图片的数量与理论最小要求值相对应。
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