[发明专利]用以在流体中检测空气的系统及方法有效
申请号: | 201280048390.9 | 申请日: | 2012-08-17 |
公开(公告)号: | CN103843109A | 公开(公告)日: | 2014-06-04 |
发明(设计)人: | 特拉奇·L·巴彻尔德;詹姆斯·切德罗内 | 申请(专利权)人: | 恩特格里斯公司 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L21/66 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 齐杨 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 实施例可在抽汲系统中检测空气。所述系统的一部分可与位于上游或下游的其它组件隔离。所述经隔离部分可包含腔室、管道、管线、阀门或泵的其它组件。在一实施例中,在活塞已移动预定距离后获得开始压力与结束压力之间的差。可将所述压力差与针对特定系统设置及/或流体属性建立的预期值比较以检测空气在所述系统中的存在。在一些实施例中,可在已达到预定压力差后确定泵组件的开始位置与结束位置之间的距离。可将所述距离与预期距离比较以检测空气在所述系统中的存在。 | ||
搜索关键词: | 用以 流体 检测 空气 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种抽汲系统,其包括:泵;控制器,其耦合到所述泵,所述控制器具有处理器及存储指令的非暂时性计算机可读媒体,所述指令可由所述处理器翻译以执行:控制所述泵以隔离所述泵的一部分,所述泵的所述经隔离部分填充有液体,其中所述泵的所述经隔离部分具有容积;使所述泵的所述经隔离部分达到预定义的开始压力;使所述泵的所述经隔离部分的所述容积改变已知量;测量所述泵的所述经隔离部分中的结束压力;确定所述泵的所述经隔离部分中所述预定义的开始压力与所述结束压力之间的实际压力改变;及利用所述实际压力改变确定在所述泵的所述经隔离部分中是否存在空气或气体。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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