[发明专利]细微抗蚀图案形成用组合物以及使用其的图案形成方法

摘要

本发明提供一种组合物以及使用其的图案形成方法，该组合物可形成没有表面皲裂、桥缺陷或者未析像等不良现象的细微的负型光致抗蚀图案。该组合物是一种在使用化学放大型抗蚀组合物而形成负型抗蚀图案的方法中，为了通过使抗蚀图案变粗而将图案细微化而使用的细微图案形成用组合物，该组合物包含溶剂以及在重复单元中含有式(A)、(B)、(C)中任一种结构的聚合物。在由有机溶剂显影液进行显影而获得的负型光致抗蚀图案上涂布该组合物，进行加热，从而形成细微的图案。

主权项

一种组合物，其是在使用正型化学放大型抗蚀组合物而形成负型抗蚀图案的方法中，为了通过使抗蚀图案变粗而将图案细微化而使用的细微图案形成用组合物，其特征在于包含溶剂、酸以及从下式(P1)～(P6)中选出的聚合物，其中所述酸为乙酸、丙二酸、柠檬酸、甘氨酸、谷氨酸、盐酸、硫酸或者硝酸。