[发明专利]具有局部背接触的太阳能电池的制造方法

摘要

本发明涉及具有背接触和钝化发射极的太阳能电池（1）的制造方法，该太阳能电池包括至少两层的电介质叠层（10），该至少两层的电介质叠层（10）至少包括与p型硅层（3）接触的AlOx的第一电介质层（11）和沉积在第一电介质层（11）上的第二电介质层（13）。此外，该制造方法包括优选通过激光烧蚀在该电介质叠层（10）中形成至少一个局部开口（15）的形成步骤，至少部分保留前述第一电介质层。

主权项

具有局部背接触的太阳能电池（1）的制造方法，该太阳能电池包括至少两层的电介质叠层（10），该至少两层的电介质叠层（10）至少包括与p型硅层（3）接触的AlOx的第一电介质层（11）和沉积在第一电介质层（11）上的第二电介质层（13），其特征在于，该方法包括在该电介质叠层（10）中形成至少一个局部开口（15）的步骤，在该局部开口的位置至少部分保留所述第一电介质层（11）。