[发明专利]传感器和制造传感器的方法

摘要

本发明涉及一种传感器（10），其具有层排列（12），其中所述层排列（12）包括至少一个基底层（14）、中间层（16）和外层（18），其中所述中间层（16）被布置为至少部分地位于所述基底层（14）上并与所述基底层（14）接触，且所述外层（18）被布置为至少部分地位于所述中间层（16）上并与所述中间层（16）接触，所述基底层（14）包括金属，所述中间层（16）包括金属氧化物，所述外层（18）是多孔的，并包括选自下组的材料，该组包括导电性碳化合物，例如更具体地：石墨或碳纳米管(CNTs)、有机导电体和基底金属，其中，可以用所述基底层（14）和所述外层（18）形成电触点，以进行电导率测量和/或电阻测量。这样的传感器（10）提供了高灵敏度，以及在环境温度下的高选择性，并且还可节约成本。本发明还涉及一种用于制造传感器（10）的方法。本发明还涉及根据本发明的传感器（10）用作气体传感器和/或液体传感器的使用。

主权项

传感器，其具有层排列(12)，其中所述层排列(12)包括至少一个基底层(14)、中间层(16)和外层(18)，其中所述中间层(16)被布置为至少部分地位于所述基底层(14)上并与所述基底层(14)接触，且所述外层(18)被布置为至少部分地位于所述中间层(16)上并与所述中间层(16)接触，其中，所述基底层(14)由金属构成，所述中间层(16)包括金属氧化物，所述外层(18)是多孔的，并包括选自下组的材料，该组包括导电性碳化合物，其中，用所述基底层(14)和所述外层(18)形成电触点，以进行电导率测量和/或电阻测量，以使得所述基底层(14)用作为下电极或用作为反电极，其中，所述基底层(14)包括至少一种选自下组的金属，该组包括钛、钒、铬、锆、铌、钼、钽、钨，或一种或多种这些金属与一种或多种这些或其他金属的合金，所述其他金属包括铝、钯、锰、铁、镍、钴、铜或稀土金属，且其中，所述中间层(16)是所述基底层(14)的转换层。