[发明专利]玻璃基板的制造方法有效
| 申请号： | 201280050824.9 | 申请日： | 2012-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN103917499A | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 西山荣 | 申请（专利权）人： | 株式会社NSC |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;C03B33/023 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 龚敏;王刚 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种可以在单片方式的化学研磨装置中将1片薄片状的玻璃基材分割为多个玻璃基板的玻璃基板的制造方法。本发明是适用于以对连续地搬送的多个玻璃基板进行化学研磨处理的方式构成的化学研磨装置的玻璃基板的制造方法。化学研磨装置至少具备搬送部及研磨处理部。在该化学研磨装置中，通过分别调整从上侧向玻璃基材喷射的化学研磨液的量、和从下侧向玻璃基材喷射的化学研磨液的量，而使形成于第一主面的分区槽及形成于第二主面的分区槽在从玻璃基材的厚度方向的中心偏离规定量的位置贯通。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种玻璃基板的制造方法，是适用于单片式的化学研磨装置的玻璃基板的制造方法，所述单片式的化学研磨装置是以对被连续地搬送的多个玻璃基板进行化学研磨处理的方式构成的化学研磨装置，具备：搬送部，其具有多个搬送辊，所述多个搬送辊将在第一主面及第二主面以跨开作为应当切割的位置的分区线的方式形成有抗蚀剂层的玻璃基材沿水平方向搬送；研磨处理部，其对由所述搬送部搬送的玻璃基材从上下方向喷射化学研磨液而蚀刻玻璃基材的分区线，该制造方法的特征在于，通过分别调整从上侧向玻璃基材喷射的化学研磨液的量、和从下侧向玻璃基材喷射的化学研磨液的量，而使形成于第一主面的分区槽及形成于第二主面的分区槽在从玻璃基材的厚度方向的中心偏离规定量的位置贯通。
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