[发明专利]检查用照明装置有效
申请号: | 201280051126.0 | 申请日: | 2012-10-19 |
公开(公告)号: | CN103959046A | 公开(公告)日: | 2014-07-30 |
发明(设计)人: | 上原诚 | 申请(专利权)人: | 目白格诺森株式会社 |
主分类号: | G01N21/84 | 分类号: | G01N21/84 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李洋;舒艳君 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供使用了柯勒照明系统的更廉价的检查用照明装置。检查用照明装置(10)具备:光源部(20)、将从光源部(20)发出的光转换成平行光的准直透镜(30)、用于将通过准直透镜(30)后的光朝向被检物体W聚光的菲涅尔聚光透镜(40)、以及配置在准直透镜(30)与菲涅尔聚光透镜(40)之间的西格玛光阑(50)。在西格玛光阑(50)与菲涅尔聚光透镜(40)之间设置有变迹滤镜(70)。 | ||
搜索关键词: | 检查 照明 装置 | ||
【主权项】:
一种检查用照明装置,其具备:光源部、将从所述光源部发出的光转换成平行光的准直透镜、用于将通过所述准直透镜后的光朝向被检物体聚光的菲涅尔聚光透镜、以及配置在所述准直透镜与所述菲涅尔聚光透镜之间的西格玛光阑,所述检查用照明装置的特征在于,在所述西格玛光阑与所述菲涅尔聚光透镜之间设置有变迹滤镜。
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