[发明专利]表面电位传感器以及复印机有效
| 申请号： | 201280051964.8 | 申请日： | 2012-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN103907029A | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 松下壮一 | 申请（专利权）人： | 欧姆龙株式会社 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12;G03G15/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 朴海今;向勇 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种表面电位传感器，在半导体基板的膜片(25)的上表面设置由金属膜(26)和驻极体膜(27)构成的驻极体电极(28)。在膜片(25)上形成有四个压电电阻(29a、29b、29c、29d)，利用这些压电电阻组成桥式电路，来构成应变量检测部(32)。作用在对象物体与驻极体电极(28)之间的静电力根据对象物体的电位发生变化，与此相对应地驻极体电极(28)产生挠曲，因此，能够通过利用应变量检测部(32)测量驻极体电极(28)的应变量来掌握对象物体的电位。由此，能够做成小型，高灵敏度，且不仅能够检测对象物体的电位，还能够检测极性。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 电位 传感器 以及 复印机 | ||
【主权项】：
一种表面电位传感器，其特征在于，具有：薄膜状的驻极体电极，其具有挠性；以及静电力检测单元，其检测作用于所述驻极体电极的静电力的变化。
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