[发明专利]用于激光处理设备的多重光束组合器有效
申请号: | 201280052799.8 | 申请日: | 2012-12-13 |
公开(公告)号: | CN103890913A | 公开(公告)日: | 2014-06-25 |
发明(设计)人: | 斯蒂芬·莫法特;道格拉斯·E·霍姆格伦;塞缪尔·C·豪厄尔斯;埃德里克·唐;布鲁斯·E·亚当斯;季平·李;阿伦·缪尔·亨特 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | H01L21/268 | 分类号: | H01L21/268;H01L21/26 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 公开用于组合放大的辐射光束的设备和方法。光束组合器具有准直光学元件,该准直光学元件被定位成相对于准直光学元件的光轴以恒定的入射角接收多个相干辐射光束。各自的入射角度在某些实施方式中亦可为不同的。准直光学元件具有使光束准直的光学特性。该光学特性可为折射或反射,或折射与反射的结合。亦可提供聚集光学元件以将多个光束引导至准直光学元件。光束组合器可用于热处理设备中,以将诸如激光的两个以上的相干放大辐射光束组合至单一光束中。 | ||
搜索关键词: | 用于 激光 处理 设备 多重 光束 组合 | ||
【主权项】:
一种用于将多个相干光束组合成组合光束的光束组合器,包含:准直光学元件,所述准直光学元件被定位成相对于所述准直光学元件的光轴以相同的入射角接收所述多个相干光束,所述准直光学元件具有准直光学特性。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造