[发明专利]测试玻璃更换

摘要

一种真空镀膜系统中用于光学测量膜特性的测试玻璃更换器，其具有能够移动的基片座(2)，用于将至少一个基片引入通过至少一个镀膜材料流的路径，具有用于至少一个测试玻璃元件的底座(6)，其刚性地连接至旋转轴(4)并且能够相对于基片座(2)围绕旋转轴(4)旋转，并且具有控制装置，用于每种情况下将一个测试玻璃元件插入光学测量装置的光路中并插入至少一个镀膜材料流中，其中底座(6)具有相对于轴(4)偏心地偏移的至少两个凹槽(7)以用于每种情况的一个测试玻璃元件，并且底座(6)相对于轴(4)的旋转运动可以由控制装置引起，其特征在于，提供定心装置(10)，通过定心装置(10)可以对底座(6)施加扭转力矩和保持力矩，从而将布置在凹槽(7)之一中的测试玻璃元件带入测量装置的测量位置。在通过该装置的用于测试玻璃更换的方法中提出，在将布置在凹槽(7)之一中的测试玻璃元件移入测量装置的测量位置之前，通过控制装置引起底座(6)的旋转运动，所述旋转运动将所述测试玻璃元件带入第一位置，该位置与测量位置的角距离小于凹槽(7)之间的角距离，并且之后通过定心装置(10)将所述测试玻璃元件带入测量位置。

主权项

一种测试玻璃更换器，用于光学测量真空镀膜系统中的膜特性，其具有能够移动的基片座(2)以用于引导在通过至少一个镀膜材料流的路径上的至少一个基片，具有用于至少一个测试玻璃元件的底座(6)，‑所述底座(6)刚性地连接至旋转轴(4)并且能够相对于所述基片座(2)绕所述旋转轴(4)旋转，以及‑具有控制装置，其用于一次将一个测试玻璃元件插入光学测量装置的光路中并插入所述至少一个镀膜材料流中，其中，所述底座(6)具有至少一个相对于所述旋转轴(4)偏心地偏移的凹槽(7)，‑其特征在于，提供定心装置(10)，通过所述定心装置(10)可以对所述底座(6)施加扭转力矩和保持力矩，以用于将布置在凹槽(7)之一中的测试玻璃元件带入所述测量装置的测量位置，‑其特征在于，所述定心装置(10)具有至少一个相对于基片座(2)以固定角度布置的执行元件(13、26)以及至少一个相对于旋转轴(4)以固定角度布置的轴承元件(11、35)，执行元件(13、26)能够通过弹簧弹力作用于所述轴承元件(11、35)，‑其中，所述底座(6)相对于所述旋转轴(4)的旋转运动能够由所述控制装置引起并且布置在凹槽(7)之一中的测试玻璃元件能够被带入第一位置，所述第一位置与所述测量位置的角距离小于所述凹槽(7)之间的角距离，‑其中，a)所述轴承元件(11)被形成为刚性地连接至所述旋转轴(4)的中心部并且具有布置在所述中心部的边缘的若干凹口(12)，其中，至少所述凹口(12)之一对应于所述凹槽(7)之一，以及所述执行元件(13)被形成为弹簧销，其布置在载体平板(3)上并且能够通过弹簧弹力经由自由端与所述凹口(12)之一啮合，或者b)所述轴承元件(30)被形成为布置在平板状的底座(6)上的槽状凹口(35)，其中，所述槽状凹口(35)对应于所述凹槽(7)之一，以及所述执行元件(26)包括球形元件(25)、布置在所述载体平板(3)上的所述球形元件(25)的上止动开口(30)以及弹簧元件(20)，所述球形元件能够被布置或者被布置在平板状的底座(6)和所述载体平板(3)之间，所述弹簧元件(20)布置在所述载体平板(3)上并且作用于所述球形元件(25)，其中，所述球形元件(25)能够通过弹簧弹力与所述槽状凹口(35)啮合，其中，从所述第一位置起，通过所述定心装置(10)能够对所述底座(6)施加扭转力矩，以用于将测试玻璃元件带入所述测量装置，通过与所述凹口(12)啮合的弹簧销(13)或者与所述槽状凹口(35)啮合的所述球形元件(25)能够对所述底座(6)施加保持力矩，并且所述执行元件啮合在所述轴承元件中，以用于将测试玻璃元件保持在所述测量位置。