[发明专利]用于高速图像获取的基于中介层的成像传感器及检验系统

摘要

本发明包含：中介层，其安置于衬底的表面上；光感测阵列传感器，其安置于所述中介层上，所述光感测阵列传感器经背部薄化且经配置用于背部照明，所述光感测阵列传感器包含像素列；一个或一个以上放大电路元件，其经配置以放大所述光感测阵列传感器的输出，所述放大电路操作地连接到所述中介层；一个或一个以上模/数转换电路元件，其经配置以将所述光感测阵列传感器的输出转换为数字信号，所述ADC电路元件操作地连接到所述中介层；一个或一个以上驱动器电路元件，其经配置以驱动所述阵列传感器的时钟或控制信号，所述中介层经配置以电耦合所述光感测阵列传感器、所述放大电路、所述转换电路、所述驱动器电路或一个或一个以上额外电路中的至少两者。

主权项

一种基于中介层的图像感测装置，其包括：至少一个中介层，其安置于衬底的表面上；至少一个感测阵列传感器，其安置于所述至少一个中介层上，所述至少一个光感测阵列传感器经背部薄化，所述至少一个光感测阵列传感器经配置用于背部照明，所述至少一个光感测阵列传感器包含多个像素列；至少一个放大电路元件，其经配置以放大所述至少一个光感测阵列传感器的输出，所述至少一个放大电路操作地连接到所述中介层；至少一个模/数转换电路元件，其经配置以将所述至少一个光感测阵列传感器的输出转换为数字信号，所述至少一个模/数转换电路操作地连接到所述中介层；至少一个驱动器电路元件，其经配置以驱动至少一个光敏阵列传感器的时钟信号或控制信号中的至少一者，所述至少一个驱动器电路元件操作地连接到所述中介层；及至少一个额外电路元件，其操作地连接到一个或一个以上中介层，所述中介层经配置以电耦合所述至少一个光感测阵列传感器、所述一个或一个以上放大电路、所述一个或一个以上转换电路、所述一个或一个以上驱动器电路或所述一个或一个以上额外电路中的至少两者。