[发明专利]阻气膜和阻气膜的制造方法有效
| 申请号： | 201280053719.0 | 申请日： | 2012-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN104023971A | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 永绳智史;铃木悠太 | 申请（专利权）人： | 琳得科株式会社 |
| 主分类号： | B32B9/00 | 分类号： | B32B9/00;C23C14/48 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 金世煜;苗堃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供具有优异的阻气性的阻气膜及这种阻气膜的制造方法。即，在基材上形成阻气层而成的阻气膜及这种阻气膜的制造方法，阻气层至少含有氧原子、硅原子、氮原子，将阻气层的与基材相接的面作为基材侧、将其相反面作为表面侧时，从表面侧朝向基材侧包含利用XPS测定而测得的氮量、硅量以及氧量成为以下关系的区域:按氧量＞硅量＞氮量的顺序形成的第1区域、按硅量＞氧量＞氮量的顺序形成的第2区域、按氧量＞硅量＞氮量的顺序形成的第3区域。 | ||
| 搜索关键词： | 阻气膜 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种阻气膜，其特征在于，是在基材上形成阻气层而成的阻气膜，所述阻气层至少含有氧原子、硅原子、氮原子，将阻气层的与基材相接的面作为基材侧、将其相反面作为表面侧时，从所述表面侧朝向所述基材侧包含利用XPS测定而测得的阻气层中的氮量、硅量以及氧量成为以下关系的区域，成为氧量＞硅量＞氮量的关系的第1区域，成为硅量＞氧量＞氮量的关系的第2区域，和成为氧量＞硅量＞氮量的关系的第3区域。
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