[发明专利]形状测定装置、构造物制造系统、形状测定方法、构造物制造方法、程序及非暂态电脑可读取媒体在审
申请号: | 201280053940.6 | 申请日: | 2012-10-30 |
公开(公告)号: | CN104024791A | 公开(公告)日: | 2014-09-03 |
发明(设计)人: | 山田智明 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康 |
主分类号: | G01B11/25 | 分类号: | G01B11/25;G01B21/04 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 日本东京都千代*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的形状测定装置,具备将第1期间中光量会随时间经过而变化且具有既定空间分布的投影光照射于物体的光源装置、拍摄投影光照射的被测物的摄影元件、设定包含第1期间的至少一部分的第2期间的第2期间设定部、根据在第2期间以摄影元件拍摄的影像数据,取得与被测物的形状相关的信息的形状信息取得部。第2期间设定部根据在较第2期间的拍摄更前的期间进行的拍摄时射入摄影元件的光的光量,以及在第1期间的投影光随时间经过的光量变化图案,设定第2期间。 | ||
搜索关键词: | 形状 测定 装置 构造 制造 系统 方法 程序 非暂态 电脑 读取 媒体 | ||
【主权项】:
一种测定物体形状的形状测定装置,其特征在于其具备:光源装置,将投影光照射于物体,在第1期间中该投影光具有的光量会随时间经过而变化,且该投影光具有既定空间分布;摄影元件,拍摄该投影光照射的该物体;第2期间设定部,设定包含该第1期间的至少一部分的第2期间;以及形状信息取得部,根据在该第2期间以该摄影元件拍摄的影像数据,取得与该物体的形状相关的信息;其中该第2期间设定部,根据在该第2期间的拍摄前进行的拍摄时射入该摄影元件的光的光量,以及根据在该第1期间的该投影光随时间经过变化的光量变化图案,设定该第2期间。
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