[发明专利]光固化性组合物和使用该光固化性组合物的图案化方法有效
| 申请号： | 201280055066.X | 申请日： | 2012-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN103930448B | 公开（公告）日： | 2017-11-17 |
| 发明（设计）人： | 伊藤俊树;三原知惠子;川端香奈江;冲仲元毅;川崎阳司 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | C08F2/50 | 分类号： | C08F2/50;B29C59/02;C08F2/44;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 李英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供需要小的脱模力的光固化性组合物。本发明还提供需要小的脱模力的UV压印法。该光固化性组合物含有聚合性单体(A)、聚合引发剂(B)和含氟表面活性剂(C)。该光固化性组合物的光固化物具有74度以下的水接触角。 | ||
| 搜索关键词： | 光固化 组合 使用 图案 方法 | ||
【主权项】：
图案化方法，包括：将用于光‑纳米压印的光固化性组合物放置在被加工基材上；使该光固化性组合物与模具接触；用光照射该光固化性组合物；和照射后使该光固化性组合物脱离该模具以在被加工基材上由该光固化性组合物形成图案，其中该用于光‑纳米压印的光固化性组合物包括：聚合性单体(A)；聚合引发剂(B)；和含氟表面活性剂(C)，其中该光固化性组合物的光固化物具有74度以下的水接触角，其中该含氟表面活性剂(C)是至少一种具有下述通式(1)的化合物：F(CF2)6(CH2)m(OCH2CH2)nOH (1)其中m为1‑3的范围内的整数，和n为1‑100的范围内的整数，其中该光固化性组合物具有5‑70mN/m的范围内的表面张力。
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