[发明专利]功能性设备的制造方法及功能性设备的制造装置有效
| 申请号： | 201280055282.4 | 申请日： | 2012-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN103987680A | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 下田达也;金田敏彦 | 申请（专利权）人： | 独立行政法人科学技术振兴机构 |
| 主分类号： | C04B35/622 | 分类号： | C04B35/622;B28B11/10;H01L21/336;H01L21/822;H01L21/8246;H01L27/04;H01L27/105;H01L29/786;H01L29/788;H01L29/792;H01L41/22 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 杨勇;钟守期 |
| 地址： | 日本埼玉*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的一种功能性设备的制造方法包括模压工艺、功能性固体材料层形成工艺。模压工艺中，在对以功能性固体材料前驱体溶液作为起始材料的功能性固体材料前驱体层推压用于形成模压结构的模具的期间的至少一部分时间内，以使对所述功能性固体材料前驱体层供应热量的热源的第一温度高于所述功能性固体材料前驱体层的第二温度的方式，对所述功能性固体材料前驱体层实施模压加工的模压工艺。另外，功能性固体材料层形成工艺中，在所述模压工艺后，在含氧气氛中通过用高于所述第一温度的第三温度对所述功能性固体材料前驱体层进行热处理，从而由所述功能性固体材料前驱体层形成功能性固体材料层。 | ||
| 搜索关键词： | 功能 设备 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种功能性设备的制造方法，其包括：模压工艺，在对以功能性固体材料前驱体溶液作为起始材料的功能性固体材料前驱体层推压用于形成模压结构的模具的期间的至少一部分时间内，以使对所述功能性固体材料前驱体层供应热量的热源的第一温度高于所述功能性固体材料前驱体层的第二温度的方式，对所述功能性固体材料前驱体层实施模压加工；和功能性固体材料层形成工艺，在所述模压工艺后，在含氧气氛中，通过用高于所述第一温度的第三温度对所述功能性固体材料前驱体层进行热处理，从而由所述功能性固体材料前驱体层形成功能性固体材料层。
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