[发明专利]聚硅氧氮烷氢氧化物薄膜清洗溶液及使用其的聚硅氧氮烷氢氧化物薄膜图案形成方法有效
| 申请号： | 201280055366.8 | 申请日： | 2012-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN103946361B | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 金奉焕;郭泽秀;裴镇希;尹熙灿;林相学;金相均;李真旭 | 申请（专利权）人： | 第一毛织株式会社 |
| 主分类号： | C11D7/50 | 分类号： | C11D7/50;C11D7/00;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 余刚,张英 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种聚硅氧氮烷氢氧化物薄膜清洗溶液，相对于清洗溶液整体包括0.01wt％至7wt％之间的选自由醇类溶剂、酯类溶剂、硅烷醇类溶剂、烷氧基硅烷类溶剂、和烷基硅氮烷类溶剂以及它们的组合组成的组中的添加剂。 | ||
| 搜索关键词： | 聚硅氧氮烷 氢氧化物 薄膜 清洗 溶液 使用 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种用于氢化聚硅氧氮烷薄膜的清洗溶液，包括：基于所述清洗溶液的总重量以0.01wt％至7wt％的量的醇类溶剂的添加剂；以及基于所述清洗溶液的总重量以93wt％至99.9wt％的量的选自芳烃类溶剂、醚类溶剂、萜品类溶剂以及它们的组合中的溶剂。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于第一毛织株式会社，未经第一毛织株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201280055366.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
