[发明专利]一种测试具有浮动栅极的非易失性存储器单元的数据保持的方法有效

专利信息
申请号: 201280055415.8 申请日: 2012-10-22
公开(公告)号: CN103988281A 公开(公告)日: 2014-08-13
发明(设计)人: V·马科夫;J·尤;S·班萨尔;A·科托夫 申请(专利权)人: 硅存储技术公司
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 马丽娜;胡莉莉
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 一种减少确定具有浮动栅极的存储器单元的数据保持的测试时间的方法,该浮动栅极用于在其上存储电荷以确定该存储器单元是否具有来自浮动栅极的漏电流。该存储器单元的特征在于具有依赖于浮动栅极的电压的绝对值的漏电速率的漏电流。该存储器单元的特征还在于在正常操作期间施加的第一擦除电压与第一编程电压,以及在正常操作期间检测到的第一读取电流。本方法施加大于第一擦除电压的电压来过度擦除该浮动栅极。包括浮动栅极的存储器单元经受单一高温烘烤。该存储器单元然后基于该单一高温烘烤来针对浮动栅极的数据保持进行测试。
搜索关键词: 一种 测试 具有 浮动 栅极 非易失性存储器 单元 数据 保持 方法
【主权项】:
一种测试非易失性存储器单元的方法,该存储器单元具有用于在其上存储电荷的浮动栅极,其中所述方法用于如果存储器单元具有依赖于该浮动栅极的电压的绝对值的来自该浮动栅极的漏电流就测试该存储器单元,其中所述单元的特征在于在正常操作期间施加的第一擦除电压、第一编程电压与第一读取电压,以及在正常操作期间检测到的擦除的存储器单元的第一读取电流,其中所述方法包括:施加大于该第一擦除电压的电压来过度擦除该浮动栅极;使包括该浮动栅极的该存储器单元经受单一高温烘烤;以及通过施加低于该第一读取电压的读取电压来测试该浮动栅极的数据保持。
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