[发明专利]集成湿度传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201280056521.8 | 申请日： | 2012-10-04 |
| 公开（公告）号： | CN103946697A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | H·本泽尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出一种具有至少一个测量电容器和一个作为电介质的潮湿敏感的聚合物的集成湿度传感器，所述湿度传感器也适合使用在肮脏的、例如有微粒的测量环境中。为此，所述湿度传感器(10)的测量电容器以平板电容器的形式在传感器元件(10)的层结构中实现，其中两个电极中的外部电极(61)位于所述层结构的表面中。潮湿敏感的聚合物层(5)位于所述测量电容器的两个电极(31，61)之间，所述聚合物层通过所述测量电容器的外部电极(61)中的潮湿可穿透的路径(7)与测量环境接触。所述潮湿可穿透的路径(7)从所述传感器元件(10)的表面延伸至所述聚合物层(5)，其中所述潮湿可穿透的路径(7)的横向延展如此小，使得所述路径不显著损害所述外部电极(61)内的导电性。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 湿度 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种集成湿度传感器(10)，其具有至少一个测量电容器和一个作为电介质的潮湿敏感的聚合物(5)，所述电介质与测量环境存在接触，其特征在于，·所述测量电容器以平板电容器的形式在传感器元件(10)的层结构中实现，其中，两个电极中的外部电极(61)位于所述层结构的表面中；·潮湿敏感的聚合物层(5)位于所述测量电容器的两个电极(31，61)之间；·在所述测量电容器的外部电极(61)中构造有潮湿可穿透的路径(7)，所述潮湿可穿透的路径从所述传感器元件(10)的表面延伸至所述聚合物层(5)，其中，所述潮湿可穿透的路径(7)的横向延展如此小，使得所述路径不显著损害所述外部电极(61)内的导电性。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗伯特·博世有限公司，未经罗伯特·博世有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201280056521.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：后切底锚栓
- 下一篇：电子互感器的采样电路
