[发明专利]制造硅烷和氢卤硅烷的方法有效
| 申请号： | 201280056572.0 | 申请日： | 2012-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN103946158A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 威廉·C·布勒内曼 | 申请（专利权）人： | 瑞科硅公司 |
| 主分类号： | C01B33/04 | 分类号： | C01B33/04;B01J19/24 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 刘慧;杨青 |
| 地址： | 美国，*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了通过反应蒸馏法制造超高纯度硅烷和通式HySiX4-y(y＝1、2或3)的氢卤硅烷的系统和方法。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 硅烷 方法 | ||
【主权项】：
制造氢硅烷的系统，包括：(a)第一多区分级蒸馏塔(2)，包括：限定多个蒸馏区的容器、反应物物流入口(1)、安置在所述反应物物流入口(1)之上的第一馏出物物流出口(5)、安置在所述反应物物流入口(1)和所述第一馏出物物流出口(5)之间的第一产物流入口(8)、塔底出口(31)、和安置在所述第一馏出物物流出口(5)之上的蒸气出口(32)；(b)第一催化再分配反应器(7)，包括限定腔室的容器、入口(7a)、与所述入口(7a)隔开的产物流出口(7b)、和布置在所述腔室内在所述入口(7a)和所述产物流出口(7b)之间的固定床催化剂，其中所述产物流出口(7b)与所述第一多区分级蒸馏塔(2)的第一产物流入口(8)连通，且其中所述第一催化再分配反应器(7)不包含压力平衡出口或蒸气返回出口；(c)操作用以从所述第一馏出物物流出口(5)抽吸第一馏出物物流(B)进入所述第一催化再分配反应器(7)中的第一泵(6)；和(d)与所述第一多区分级蒸馏塔(2)的蒸气出口(32)连通的冷凝器(28)。
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