[发明专利]透明导电膜层叠体及其制造方法和薄膜太阳能电池及其制造方法

摘要

本发明提供与Si层的接触性优异且光限制效应也优异的、可用作太阳能电池的表面电极的透明导电膜层叠体及其制造方法，以及薄膜太阳能电池及其制造方法。将在透光性基板(1)上形成的氧化铟系透明导电膜(I)(21)作为基底，在其上依次形成凹凸性优异的氧化锌系透明导电膜(II)(22)和具有高功函数的透明导电膜(III)(23)，从而形成三层层叠结构。

主权项

一种透明导电膜层叠体，其特征在于，具备：在透光性基板上形成的膜厚50nm以上且600nm以下的氧化铟系透明导电膜(I)；在上述氧化铟系透明导电膜(I)上形成的膜厚200nm以上且1000nm以下的氧化锌系透明导电膜(II)；以及在上述氧化锌系透明导电膜(II)上形成的膜厚5nm以上且200nm以下的氧化物系透明导电膜(III)。