[发明专利]热反应型抗蚀剂材料、模具的制造方法、模具、显影方法以及图案形成材料有效
| 申请号： | 201280057187.8 | 申请日： | 2012-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN103946748A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 三田村哲理;中田卓人 | 申请（专利权）人： | 旭化成电子材料株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;B29C33/38;B29C59/02;G03F7/004;G03F7/32;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 李晓 |
| 地址： | 日本国东京都千代*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种热反应型抗蚀剂材料，含有氧化铜以及硅或氧化硅，所述热反应型抗蚀剂材料中的所述硅或氧化硅的含量以硅的摩尔量计为4.0mol％以上、不足10.0mol％。使用该热反应型抗蚀剂材料形成热反应型抗蚀层，将该热反应型抗蚀层曝光后在显影液中显影。以得到的热反应型抗蚀层作为掩膜，基材在氟利昂气体下进行干蚀刻，制得基材表面具有凹凸形状的模具。此时，可以控制由凹凸形状构成的微细图案。 | ||
| 搜索关键词： | 反应 型抗蚀剂 材料 模具 制造 方法 显影 以及 图案 形成 | ||
【主权项】：
一种热反应型抗蚀剂材料，其特征在于，该热反应犁抗蚀剂材料含有氧化铜以及硅或氧化硅，所述热反应型抗蚀剂材料中的所述硅或所述氧化硅的含量以硅的摩尔量计为4.0mol％以上、不足10.0mol％。
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