[发明专利]用于控制等离子体边缘区域的系统和方法有效
| 申请号： | 201280057405.8 | 申请日： | 2012-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN104521322B | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 阿列克谢·马拉赫塔诺夫;拉金德尔·迪恩赛 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H05B7/18 | 分类号： | H05B7/18 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所31263 | 代理人： | 李献忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明描述了用于控制等离子体边缘区域的系统和方法。所述系统之一包括上电极和下电极。该系统还包括上电极延伸部和下电极延伸部。所述等离子体边缘区域的至少一部分形成在所述上电极延伸部和所述下电极延伸部之间。该系统包括电路以控制所述上电极延伸部处的射频信号。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 控制 等离子体 边缘 区域 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于控制等离子体边缘区域的系统，其包括：用于产生电场的上电极和下电极；围绕所述上电极的一部分的一或多个上绝缘环；围绕所述下电极的一部分的下绝缘环；围绕所述一或多个上绝缘环的一部分的上电极延伸部；围绕所述下绝缘环的一部分的下电极延伸部，其中等离子体中心区域的至少一部分形成在所述上电极和所述下电极之间，其中等离子体边缘区域的至少一部分形成在所述上电极延伸部、所述下电极延伸部和C‑罩之间；以及控制电路，该控制电路具有电感器，该控制电路与所述上电极延伸部连接以用于控制施加到所述上电极延伸部的第一射频信号，其中所述上电极与接地装置耦合，并且所述上电极延伸部与可变电容器和电感器耦合，其中所述可变电容器与所述电感器并联耦合，其中所述可变电容器的电容被调节以使得所述等离子体边缘区域内的等离子体顶鞘的电位与所述等离子体边缘区域内的等离子体底鞘的电位同相。
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