[发明专利]用于确定气体组分的多室声学传感器有效
申请号: | 201280057412.8 | 申请日: | 2012-11-21 |
公开(公告)号: | CN104126027A | 公开(公告)日: | 2014-10-29 |
发明(设计)人: | A.瓦杰德 | 申请(专利权)人: | 英飞康公司 |
主分类号: | C23C16/00 | 分类号: | C23C16/00;C23C16/44 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 马丽娜;胡莉莉 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 声速传感器由用于包含流动气体和气体混合物的密封多室外壳限定。所包含流动气体被声学方式激励,并在外壳的第一发送端与接收端之间的固定距离内测量声能。通过比较在不同的频率下通过流动气体传输的能量来确定气体的声音的速度,从而精确地确定流动通过外壳的气体的谐振频率。根据本设计,外壳的室包括在其之间的用于优化声能通过流动气体的传输并且还增强在较高有用频率下的一个或多个附加谐振模式的内部过渡形状。与该传感器相关联使用的过渡形状可以是实质上抛物线、双曲线、直线和指数曲线中的至少一个。 | ||
搜索关键词: | 用于 确定 气体 组分 声学 传感器 | ||
【主权项】:
一种声速传感器,包括:密封外壳,用于包含流动气体和气体混合物,所述外壳包括多个互连的室;用于以声学方式激励所包含流动气体的装置;以及用于测量在所述外壳的第一发送端与接收端之间的固定距离内传输的声能的装置,其中通过比较在不同频率下通过流动气体传输的能量来确定气体的声音的速度,从而精确地确定流动通过所述外壳的气体的谐振频率,并且其中,所述外壳的室包括用于优化声能通过流动气体的传输并增强在较高有用频率下的至少一个附加谐振模式的相邻室之间的内部过渡形状。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的