[发明专利]搬运工件的偏转修正机构和搬运工件的偏转修正方法有效
申请号: | 201280057588.3 | 申请日: | 2012-11-19 |
公开(公告)号: | CN103946968A | 公开(公告)日: | 2014-07-23 |
发明(设计)人: | 久下守正;田中秀幸;大串修己;东健太郎;中泽睦裕;高原一典 | 申请(专利权)人: | 川崎重工业株式会社 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;B65G43/08;B65G49/06 |
代理公司: | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人: | 曹芳玲 |
地址: | 日本兵库*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 具备:保持搬运工件(5)的侧部的保持装置(3);沿着轨道(6)向工件输送方向(X)搬运保持装置(3)的行驶装置(2);和在行驶装置(2)的工件输送方向前部及后部支持保持装置(3)的支持机构(31、32);支持机构(31、32)具有偏心轴(38),偏心轴(38)在前部或后部中的一个相对于设置在行驶装置(2)上的驱动轴的轴线(O1、O2)以规定的偏心量(e)向工件输送方向(X)偏心的位置上,且在前部或后部中的另一个向与工件输送方向(X)交叉的方向偏心的位置上具备与保持装置(3)接合的轴线(O3);通过使偏心轴(38)的轴线(O3)以驱动轴(36、37)的轴线(O1、O2)为中心转动以此使保持装置(3)和行驶装置(2)的位置相对移动而修正搬运工件(5)的偏转,从而在搬运的同时修正在搬运工件的搬运中产生的偏转。 | ||
搜索关键词: | 搬运 工件 偏转 修正 机构 方法 | ||
【主权项】:
一种搬运工件的偏转修正机构,是修正向工件输送方向搬运的搬运工件的偏转的偏转修正机构,具备:保持所述搬运工件的侧部的保持装置;支持所述保持装置,并且沿着轨道向工件输送方向搬运所述保持装置的行驶装置;和在所述行驶装置的工件输送方向前部及后部支持所述保持装置的支持机构;所述支持机构具有设置于所述保持装置或行驶装置中的任意一个上的转动轴、和设置在所述保持装置或行驶装置中的另一个上的偏心轴,所述偏心轴在前部或后部中的一个相对于所述转动轴的轴线以规定的偏心量向工件输送方向偏心的位置上,且在前部或后部中的另一个向与工件输送方向交叉的方向偏心的位置上具备与所述转动轴平行的轴线;并且形成为通过使所述偏心轴的轴线以所述转动轴的轴线为中心转动以此使所述保持装置相对于所述行驶装置相对移动,从而修正所述搬运工件的偏转的结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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